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【受賞】量子物质科学プログラムの加藤響さんが国際会議ISSM2022においてStudent Paper Award 及びBest Paper Awardを受賞しました

広島大学大学院先进理工系科学研究科 量子物质科学プログラム 博士課程前期2年の加藤　響さんが、International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM)2022 Student Paper Award及びBest Paper Awardを受賞しました。
同賞は、令和4年12月に東京都のKFCホールで開催されたInternational Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM)2022において行った発表が最も優秀と認められたため授与されました。（受賞日：2022年12月13日）

発表題目：Ultra-fast Etching of Photoresist by Reactive Atmospheric-pressure Micro-Thermal Plasma Jet

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広島大学大学院先进理工系科学研究科　量子物质科学プログラム

教授　东　清一郎

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掲載日 : 2023年01月17日


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